مكونات الركيزة الميكروويف
أولا نظرة عامة
باستخدام التبخر الفراغي ذي الأغشية الرقيقة من أشباه الموصلات ، والرش ، والطلاء بالكهرباء ، والطباعة الحجرية الضوئية ، والتشذيب بالليزر ، والكشط والعمليات الأخرى ، والنمط على سطح ركائز السيراميك (أو ركائز خاصة) ، أثناء دمج المقاومات ، والمكثفات ، والمحاثات ، وما إلى ذلك ، لإنتاج ركائز الدائرة مع وظائف محددة لها وظائف مثل التوصيل الكهربائي ، والدعم المادي ، وتبديد الحرارة ، وتُستخدم في أجهزة ميكروويف الدائرة المتكاملة الهجينة.
2. مواصفات المنتج
تردد عالي ، دقة عالية ، موثوقية عالية
3. المؤشرات الفنية
المادة: Al2O3.
الدقة: خط عرض / خط دقة التباعد ± 2.5 ميكرومتر.
تمعدن: مقاومات Ti ، Ni ، Pt ، Au ، تان ، مسبقة الصنع AuSn أفلام ، إلخ ؛ تلبية متطلبات ربط الأسلاك الذهبية ، SnPb / AuSn / AuSi / AuGe لحام ، مادة لاصقة موصلة
أخرى: التفاف حول الجانب ، من خلال الثقوب (من خلال مقاومة الثقب أقل من 50 ملي أوم).
نظام الفيلم | مقاومة القاع النموذجية | 50 -75-100 Ω / □ |
سمك نموذجي للطبقة الانتقالية | 1000 ~ 3000 Å | |
سمك المعدن السطحي | 3 ~ 8 ميكرومتر | |
الليثوغرافيا الضوئية | الدقة | 0.8 ميكرومتر |
دقة المحاذاة | ± 1 ميكرومتر | |
على الوجهين التعرض ، والتعرض الغراء سميكة | ||
تقطيع | الحد الأدنى لحجم القطع | 0.5 مم × 0.5 مم |
دقة الأبعاد | ± 50 ميكرومتر | |
دقة محاذاة الوحدة | ± 5 ميكرومتر | |
القدرة العملية | 2 " × 2 " الركيزة يمكن أن تنتج 800 قطعة / أسبوع | |
4. المنتجات النموذجية
خطوط التأخير ، مخففات الرقائق ، المرشحات ، قارنات لانج ، قارنات اتجاهية ، محاثات لولبية ، إلخ.
5. مجالات التطبيق
اتصالات الرادار ، الإجراءات المضادة الإلكترونية ، الاتصالات عبر الأقمار الصناعية ، معدات المسح الدقيق ورسم الخرائط ، الاتصالات اللاسلكية ، الاستشعار عالي السرعة ومجالات أخرى.
